足足过了十分钟，严第一个站起来，满心喜的说：“可以！我初步计算，这个方案完全有可能到我们要求的亮度极紫外光源！”

其实这就是解决方案，只不过何星舟说的委婉了一。

除了白鹰有一个，西方联盟也有一个类似的，由三十多个国家，数百个企业组成，全都是光刻机及芯片的相关产业。

“这就开始！”何星舟笑，他知，这次尝试必定成功！这可是自己解锁光刻机技术后，思考和计算了一个多月，才完成的设计！

与会的成员，全都是来自国际的代表！可以说，他们这些公司，就代表了全世界最级的光刻机、芯片技术！

“我有设计图！”何星舟说。

“不能开放！”第一个发言的代表就表示反对，他是来自陶氏集团的代表莫尔顿，同样是世界排名前五的光刻胶企业。

“什么方案？”这群院士和专家们都看着他。

何星舟说：“光源瓦数的提升，可以用电能！”

他义正言辞的说：“既然我们达成了合作协议，就要共同退。今天开放一个光刻

几何图形成像到硅片上的光刻胶中，从而形成集成电路所需要的光刻图形。”

风车国的阿斯麦公司能生产世界上最级的极紫外光刻机，就是因为获得了他们的支持！

众人一起前往会议室，何星舟呼唤鹿米，让她打开设计图纸，并且行讲解。

联盟会长福斯特坐在首席，他是白鹰统领不久前刚任命的，其风格派要比上一任许多！

“去会议室！”何星舟笑。

“樱那边向我们提建议，说极紫外光刻胶技术已经被神州攻克，希望开放极紫外光刻胶市场！”福斯特慢条斯理的说，“大家有什么意见？”

“对，我的看法也是一样！”有一位老院士站起来，他兴奋：“这个放电反应室，真是神来之笔！光源折损耗后，电能将等离转化，形成新的能等离，不仅没有光污染，还让极紫外线的纯净度一步提升，这样来的光刀，只怕能达到世界之最！”

下，因为那“全面合作”协议，白鹰的euv联盟和西方联盟的euv联盟开始合作，共同讨论“合作细节”。

这可不是动漫和电影里的复仇者联盟，而是由白鹰领，组建的euv光刻机技术联盟。

“我们的euv掩缺陷仍达ldefect／cm2，检测机台的制造平也要得到一步提升。”

“这样我们也设想过！”严似乎有想法了，她问：“这个电能反应室……”

“在功率激光加负载形成等离并且多次反后，形成了极紫外光源，这个时候，再设计一个放电反应室，让等离一步转化，辐亮度更，更纯净的极紫外线，如果还有多层反镜，evu的纳米刻度会一步提升，就有可能满足3纳米制程的要求！”

“理论上，这个过程没有问题。”何星舟。

“真的？！”众人听到他这么说，神为之一振，赶说：“让我们看看！”

当他讲完，全场鸦雀无声。每个人都在思考和计算。

灯国，“复仇者联盟”正在召开大会。

由英特尔、amd、托罗拉和ibm等业界，加上隶属于白鹰的桑迪亚国家实验室和劳斯利弗莫尔国家实验室组成！

“但问题在于如何在提euv光源瓦数的同时，降低等离气氛中微粒、速粒和其它污染。”严疼，“不然光源就会迅速恶化。还有，极紫外投影光刻系统使用了反式掩模。”

……

“那还等什么，我们赶去试试吧！”专家们都忍不住了。

本章尚未读完,请击下一页继续阅读---->>>

“检测机台的问题，我想卢教授那边的团队应该能解决。”何星舟说，“至于极紫外光源的问题，我想到了一个解决方案。”

“何总工，你真是个天才，这样的方案也能想到！” [page]